致命魔术

“钼”成300层+NAND必选项 机构：沉积设备迎10亿美元增量市场_我的网站

一 |     　　当地时间8月23日，半导体行业研究机构SemiAnalysis发文称，NAND闪存制造正从钨转向钼，因为当NAND来到300层以上，钼是必选项。　　SemiAnalysis分析，3D NAND闪存堆叠层数突破300层后，钨字线在电阻、化学兼容性和深孔填充三方面均触及物理极限，钼成为强制替代材料。三星已于2024年量产，美光2025年跟进，SK海力士计划2026年底推出375层钼工艺产品。    据中国气象局官微消息，4月19日8时至21日8时，贵州南部、江南南部、华南北部和中东部等地的部分地区出现暴雨到大暴雨、局地特大暴雨。其估计，钼在NAND总产能中的占比将从2025年的中个位数百分比，增长至2027年的约30%。　　更进一步的，该机构提出，钼沉积设备将在明年迎来超10亿美元的新增市场。　　该机构称，每一次从钨到钼的转换，都意味着需要新的沉积设备。中国气象局于4月18日8时30分启动暴雨三级应急响应。

二 | SemiAnalysis估计，仅2027年一年，NAND钼沉积设备的销售额就将超过10亿美元，并随着DRAM和逻辑芯片的跟进，到2030年增长至约20亿美元/年。4月21日10时，中央气象台继续发布暴雨橙色预警、强对流天气黄色预警。　　多地累计降水量突破4月历史纪录，珠江流域北江发生2024年第2号洪水　　19日8时至21日8时，广西北部、广东中北部、湖南东南部、江西南部累计降水量达100毫米至200毫米，其中广西东北部、广东西北部达250毫米至350毫米，局地超过400毫米。　　受益格局方面，Lam Research（泛林集团）最先获益，TEL（东京电子）紧随其后；AMAT（应用材料）、ASMI（ASM国际）及Naura（北方华创）则更多受益于后续DRAM和逻辑芯片的转型浪潮。

三 | 最大小时降水量达40毫米至80毫米，广西南宁、广东茂名局地超过100毫米。

四 | SemiAnalysis表示，完整的细分市场层面测算已纳入其前道设备（WFE）模型。　　钼渗透率在高层数NAND中提升，本质是为延续NAND单位Bit成本下降曲线。　　300层NAND主要在结构上升级，聚焦超高深宽比通道孔刻蚀、多次Stack堆叠、晶圆翘曲控制以及Overlay精度控制。

五 | 　　375层乃至400层以后，材料亟需升级，因钨字线会因为字线间距通道孔缩小面临RC延迟快速恶化、WF残氟导致介质损伤、漏电失效率提升以及填充缺陷放大的问题。

六 | 而钼凭借更低电阻率、无氟前驱体及无需阻隔层等优势，有望改善RC性能与器件可靠性，为字线和存储孔缩放提供工艺余量，从而延续高层数NAND的成本下降曲线。20日8时30分至9时15分，广西壮族自治区梧州市藤县发生中等强度龙卷风（相当于最大瞬时风力达15级）。　　中银证券表示，SK海力士已完成375层3D NAND生产验证并计划2026年底量产，拟采用钼材料替代钨制作字线，继三星在286层第九代3D NAND中率先导入钼工艺后，两大存储龙头相继切换，钼替代钨趋势确立。　　然而，钼的材料加工更为复杂，因为必须以气体形式输送，且前驱物在室温下为固体，需要加热器以确保流动稳定性。　　基于此，300层以上3D NAND字线由钨切换为钼，并不是简单更换靶材或者更换气体材料，而是前驱体供给、ALD沉积腔体、刻蚀、清洗、尾气处理整套工艺链条的重构，原有钨CVD产线硬件无法直接复用，将直接推动晶圆厂资本开支上行，同时设备、特种材料、零部件均迎来变化。　　受强降水影响，珠江流域北江发生2024年第2号洪水。

七 | 　　爱建证券表示，钼导入本质是一次全流程工艺重构，设备链受益有望沿“沉积及前驱体输送→CMP及清洗→刻蚀→量检测”路径传导，工艺难点由沉积向后处理环节延伸。其中——　　沉积：成熟的WF钨工艺，Mo沉积需重新建立高深宽比结构下的填充与缺陷控制工艺窗口，同时有望减少阻隔层使用，带动沉积设备及配套工艺升级；　　输送：Mo前驱体通常采用低挥发性固态源，与传统WF气态前驱体体系差异较大，需要新增气化装置、温控管路及精密供气系统，以保障前驱体稳定输送；　　CMP：Mo材料的氧化及表面化学特性不同于传统金属体系，需重新开发CMP研磨液和研磨垫，以满足平坦化、去除速率及缺陷控制要求；　　清洗：Mo导入后残留物及氧化物体系发生变化，高深宽比结构下金属残留和污染控制难度提升，有望推动相关湿法清洗设备及配套化学品验证导入；　　刻蚀环节则需重新建立适配钼材料的工艺窗口，且3DNAND层数持续提升下，刻蚀选择性、侧壁形貌控制及层间均匀性要求进一步提高，有望带动相关刻蚀设备升级需求；　　量检测：Mo量产还需新增膜厚均匀性、填充缺陷、金属残留及电学可靠性等监控项目，有望带动薄膜量测、缺陷检测及电性测试等设备需求增长。　　该机构称，NAND工艺迭代核心从单纯堆叠层数转向材料—设备—工艺协同创新，新材料导入将持续催生沉积、刻蚀、清洗等关键设备迭代升级，Mo字线导入将推动沉积、刻蚀、清洗等关键环节工艺升级，相关设备及零部件厂商有望受益。21日早晨，北江下游控制站石角水文站流量为14900立方米/秒，已经超过2024年第1号洪水，并在广西、广东造成多条中小河流水位超警戒水位，多地发生地质灾害。（文章来源：科创板日报）。　　气象部门密切关注此次强降水过程，中国气象局与水利部联合发布山洪灾害气象风险提醒，并联合自然资源部提前启动2024年度全国地质灾害气象风险联合预警业务。

八 | 广西、广东省（自治区）气象局与当地水利厅、自然资源厅联合发布山洪灾害与地质灾害气象风险预警。

九 | 　　多重因素导致近期南方降雨偏多偏强，未来强降水过程多仍需加强防范　　中央气象台首席预报员马学款介绍，4月以来，副热带高压比常年同期偏强，有利于南海和孟加拉湾水汽向南方地区输送，同时高原槽和南支系统活跃，导致南方地区强降水过程频繁、降水持续时间偏长。另外，江南、华南等地气温比常年同期明显偏高，大气含水量丰富、不稳定能量高，导致对流发展旺盛、降雨强度高，多地累计降水量突破4月历史纪录。

十 | 　　中央气象台预计，4月21日至22日，江南南部和东部、华南中东部和南部等地仍有强降水，局地有大暴雨并伴有雷暴大风或冰雹等强对流天气。23日，华南地区的降雨将明显减弱，但华南南部沿海部分地区仍有大到暴雨。另外，在25日前后，贵州、江南、华南等地还将有一次较强降水过程。　　马学款提示，未来几天，我国南方地区强降水过程多、局地雨强大，并可能伴有风雹天气，公众需及时关注当地气象部门发布的预报预警信息，在强降水时段减少外出，避免在山涧、河道等低洼地带逗留，注意防雨防雷电，防范山洪、滑坡、泥石流等次生灾害风险。相关部门要注意城市低洼地带及时排水，加固户外设施，防范强风对临时搭建物、高空作业装置和人员、航运等的安全威胁。　　（中国小康网综合中国气象局官微）。

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Published on:07:24:07